在自然界中往往透明的物质不导电，如玻璃、水晶、水等，导电的或者说导电性好的物质又往往不透明，如金属材料、石墨等。但是在许多场合恰恰需要某一种物体既导电又透明。象液晶显示器、等离子体显示器等平板显示器和太阳能电池光电板中电极材料就是需要既导电又透明的物质。

透明导电薄膜正好符合了这样的要求，是功能薄膜中比较有特色的一类薄膜。它的组成，属于金属氧化物；它的物理性能和功能，是一种半导体薄膜材料，也可以属于一种光学材料。这类薄膜材料*初的需求源于平板显示器制作的需要。

早期的研究和开发所涉及 SnO2、In2O3、ZnO等简单氧化物材料。简单氧化物薄膜材料的电阻率大约在10－3～10－2 Ωcm 量级。后来，又研究和开发了掺杂的金属氧化物和复合氧化物的透明导电薄膜，如掺F 和B 的SnO2、In2SnO5（ITO）等，从导电机制来讲，不仅有缺位机制，还有掺杂机制，使载流子浓度和迁移率均得以提高。ITO 薄膜使导电性和可见光透过率有了极大的提高，同时ITO 所具有的其它性能如刻蚀时间、耐酸耐碱性以及化学稳定性等也非常适合显示器制作的要求，由于ITO性能的提高反过来也极大的促进了平板显示器分辨率和质量的提高。ITO 薄膜在目前透明导电薄膜中，尤其在平板显示器所用的导电薄膜中占**的地位。

鉴于 ITO 陶瓷靶材价格昂贵，以及对透明导电膜在性能上进一步提高的要求。一些国家尤其是作为平板显示器大国的日本一直在研究和探索新型透明导电薄膜。他们研究的对象集中在ZnMgO2、ZnMgF4 这样一类化合物上。这些透明薄膜的电阻率在0.6~6.0×10-3 Ωcm 水平，透过率大约在76％~86％水平。目前综合性能指标不如ITO。