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什么是负性光敏型聚酰亚胺
发布时间:2015-01-20  人气:127  本文链接:www.dgkapton.com/cat-2/182.html

负性光敏型PI 涂层胶工作原理是:被曝光的区域发生光化学反应,在显影后聚合物胶留下形成图案。目前已商业化的负性光敏型PI 涂层胶主要有酯型、离子型和结构型3类。

酯型PI 涂层胶是由二酐与带光敏性基团的醇生成二酸二酯后酰氯化,再与二胺反应得到。利用BTDA6FDA与含羟基的二胺单体反应,经丙烯酰氯处理得到具有低介电常数的酯型PSPI。为了消除会降低材料介电性能和对铜有腐蚀作用的Cl-H Ahne改用DCC为酰化剂,直接由二酸二酯与二胺反应合成无Cl-的光敏树脂。这种树脂具有好的流平性和成膜性,但留膜率较低。离子型PI 涂层胶是由聚酰胺酸与带光敏性基团的叔胺形成的盐,曝光后在大分子间产生“离子键-共价键-离子键”的交联桥,从而实现光刻成像。这类涂层胶首先由日本Toray 公司开发成功,PSPIPhotoneece PW”系列相比,其耐化学稳定性好,Tg260 ℃,对基底具有优良的粘结性且固化过程中薄膜的残余应力低至32 MPa。该公司2012 年初宣布开发出可在170 ℃低温下固化的正性PSPI涂层材料“Photoneece LT”系列,可用于耐热性要求低的半导体芯片保护膜以及再布线层绝缘膜等,残留应力很低,极具应用价值。此外,HD Microsystems公司推出的HD-8810HD-8910 系列,国内某厂家生产的ZKPI-540 产品等均是应用于微电子封装的正性光敏型PI 涂层胶。

目前,正性光敏型PI 涂层胶的研究仍存在许多商品名为“Photoeece”,聚酰胺酸由ODA PMDA合成,其感光基团为光敏性叔胺甲基丙烯酸乙醇酯。所采用的增感剂在365 nm有强吸收,其感光度可达到7~10 mJ·cm-2

结构型PI 涂层胶首先由Pfeifer[32]研制成功,它是由BTDA 和具有邻位烷基的二胺反应得到的可溶的、完全亚胺化的聚酰亚胺。这种光敏型PI 对超高压汞灯的igh 线不能很好地吸收,故感光度不高,大约为600~700 mJ·cm-2,但对310 nm波段的感光度为20~30 mJ·cm-2

负性光敏型PI 涂层胶产品有Amoco 公司研发的Ultradel 7501 和国内某厂家的ZKPI-510ZKPI-520ZKPI-530等。负性光敏型涂层胶往往采用有机溶剂作为显影液,胶膜会溶胀,在显影后膜损失率高,残留物也难以完全去除,可能会影响膜的介电性能。负性涂层胶现已朝水溶性PSPI 的方向发展,报道了一类IC封装用的水溶性负性PSPI

光敏型聚酰亚胺除了在结构设计上追求高灵敏度、高分辨率、低膜损失率、更有效的水性显影液、低成本的合成方法等方面需加强研究外,还需在低介电常数、宽的透明波长范围、低光损耗等方面继续开展研究。